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2013年環(huán)境影響評價案例分析教材詳解73

發(fā)表時間:2012/7/27 9:39:11 來源:互聯(lián)網(wǎng) 點(diǎn)擊關(guān)注微信:關(guān)注中大網(wǎng)校微信
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(二)工程污染源分析

本次環(huán)境影響評價工程污染源分析的原則和依據(jù)是建設(shè)單位提交的初步設(shè)計(jì), 經(jīng)評價單位進(jìn)行物料衡算、類比調(diào)查與監(jiān)測得出的。但應(yīng)該指出的是本次環(huán)境影響評價提出的工程污染源數(shù)據(jù)是依據(jù)前文提到的工藝路線和產(chǎn)量界定的,但該項(xiàng)目實(shí) 質(zhì)是芯片的代加工廠,所有產(chǎn)品是根據(jù)市場的需求進(jìn)行制作的,產(chǎn)品種類、規(guī)格多 且不固定,原材料會因產(chǎn)品工藝和類型不同而使用非常多的不同種類,且使用時間、使用量具有波動性的特點(diǎn),因此,污染物的產(chǎn)生、排放量也具有不確定性。

1. 大氣污染源分析

(1) 酸性廢氣酸性廢氣主要來自于擴(kuò)散區(qū)、離子植入?yún)^(qū)、薄膜區(qū)、化學(xué)研磨區(qū)及光罩制作區(qū),包括含氟廢氣、鹽酸、硫酸、硝酸、磷酸、硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、 砷烷(AsH3)等所排出之廢氣。

(2) 堿性氣體堿性氣體主要來自擴(kuò)散區(qū)、薄膜區(qū)及化學(xué)研磨區(qū)產(chǎn)生之含氨廢氣排放。

(3) 有機(jī)廢氣有機(jī)廢氣主要來自于光刻區(qū)、擴(kuò)散區(qū)的光阻劑及清洗用之異丙醇等有機(jī)溶劑廢氣。

(4) VOC使用天然氣燃燒廢氣芯片生產(chǎn)后加工工序會有VOC產(chǎn)生,其處理工藝使用天然氣助燃方式解決。使用天然氣燃燒時NO,的產(chǎn)生量參照北京市環(huán)境保 護(hù)科學(xué)研究院編制的《北京環(huán)境總體規(guī)劃研究》中確定的排放因子,即燃燒1 000m3 天然氣NO,的排放量為1.76 kg。802的產(chǎn)生量根據(jù)天然氣的用量和含硫率求得,即 燃燒1 000 m3天然氣S02的排放量約為5.71 X10—3 kg。

燃燒VOC使用的天然氣100 m3/h,年總用量為864 000 m3/a (一年按360 d, 一 天按24h計(jì)),煙氣排放量為10 644 480m3/a,則本項(xiàng)目FAB VOC使用的天然氣燃 燒產(chǎn)生的大氣污染物排放量為:NO, 1 520.64 kg/a、S02 4.93 kg/a。

(5) 化學(xué)品輸送過程中的極微量泄漏管道輸送液體的過程中,在管道接口處有極微量液體泄漏。根據(jù)類比數(shù)據(jù),化學(xué)材料在運(yùn)輸過程中,在罐裝、管道等接口 處可能的極微量泄漏約為總量的0.05%。本評價考慮的是使用量較大的氟化氫,年使用量按52 075 kg/a計(jì),泄漏量按最壞情況來考慮,為總量的0.8%計(jì),可得到氟化 氫極微量泄漏約為0.048 kg/h。

2. 水污染源分析

本項(xiàng)目水污染源主要包括生產(chǎn)廢水和生活污水。

根據(jù)本項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝和廢水水質(zhì)特征,在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水主要可分為含氟廢水、研磨廢水(分為金屬研磨廢水、氧化研磨廢水、晶背研磨廢水)、酸堿廢水(包括工藝酸堿廢水、洗滌塔廢水、純水系統(tǒng)再生廢水)和含氨廢水。

此外還有純水站濃縮廢水、工藝設(shè)備冷卻水、冷凍水和冷卻塔排水,為較清潔 廢水,作為回用水。

廢水處理站主體部分位于CUB2 —層,主要包括含氟廢水處理系統(tǒng)、酸堿廢水 中和處理系統(tǒng)、污泥處理系統(tǒng)、加藥系統(tǒng)、部分廢液收集系統(tǒng)、廢水處理站控制室及部分處理設(shè)施的預(yù)留位置;另一部分位于生產(chǎn)廠房FAB 4/ FAB 5/ FAB 6C的一樓, 主要包括化學(xué)機(jī)械研磨廢水、芯片背面研磨廢水收集及輸送設(shè)施。

3. 固體廢物

固體廢物產(chǎn)生量及其組分,詳見表2。

表2固體廢物產(chǎn)生量

類別
物理
形態(tài)
年產(chǎn)生 量/ (t/a)
主要組分
危害性
處置方式
污泥
固態(tài)
2 000
CaF2,CaS04, Ca(OH)2
一般
委外焚燒
 
硫酸廢液(S3)
液態(tài)
864
30%?95%硫酸
刺激和腐蝕
本廠綜合利用 后委外回收
 
磷酸廢液S1)
液態(tài)
288
30%?95%磷酸
刺激
委外回收
 
顯影廢液S4)
液態(tài)
360
EBR, TOK105 , C260, A515
易燃
委外回收
 
異丙醇廢液S5)
液態(tài)
72
IPA
刺激、低毒;有 火災(zāi)爆炸的危險
委外回收
 
硫酸氨廢液
液態(tài)
396
(NH4) 2so4
一般
委外回收
 
混合
有機(jī)溶劑S6)
液態(tài)
720
NMP, Acetone,
Diluited-IPA,
Glycol
易揮發(fā)燃燒、低 毒
委外焚燒
 
廢光刻膠S2)
液態(tài)
432
EKC
易揮發(fā)燃燒
委外焚燒
 
廢芯片
固態(tài)
12
廢五金
委外回收
 
廢塑料
固態(tài)
72
塑料
委外回收
 
廢金屬
固態(tài)
36
金屬
委外回收
 
廢玻璃
固態(tài)
12
玻璃
委外回收
 
可回收包裝材料
固態(tài)
300
廢紙
委外回收
 
生活垃圾
固態(tài)
500
生活和 辦公垃圾
一般
城市垃圾集 中統(tǒng)一處理

1. 噪聲污染源

本項(xiàng)目噪聲源污染狀況可分為兩個部分:一個為生產(chǎn)廠房(FAB4/FAB5/FAB6C) 噪聲污染源;另一個為動力設(shè)施(變電站PS2、動力站CUB2)及其他輔助設(shè)施產(chǎn)生的噪聲污染源。

噪聲污染主要在動力房室內(nèi),如冰水機(jī)、動力泵及其他產(chǎn)生噪聲的動力設(shè)備;另外柴油發(fā)電機(jī)(緊急用)、冷卻塔風(fēng)扇、空調(diào)風(fēng)扇與生產(chǎn)用的真空泵都會產(chǎn)生噪聲

污染。

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